能和人對話，目前我們專注的領域是振動分析，當然，一般振動分析會結合溫度檢測應用。通過振動分析，可以保證機器的安全性，做預維護，量產保證以及質量監控。

 

ADI基于對MEMS傳感器以及模擬電路設計經驗的積累，于近兩年發布了一系列超低噪聲的振動傳感器，也就是ADXL100x系列加速度計。它們可以用來替代傳統的壓電傳感器，可以說是列劃時代的產品，使得智能制造成為可能。

 

與傳統的壓電傳感器相比，MEMS的振動傳感器有非常多的優勢，比如說MEMS可以低頻甚至是直流信號，但壓電的就不行，這是受其設計原理的限制。再就是耐沖擊的能力;隨著時間和溫度變化，傳感器的穩定性;整個測量范圍內的線性度;刻度因子的平坦度；物理尺寸;傳感器是否能自檢等等。這些都是MEMS振動傳感器的優點。還有最重要的一點就是價格，由于壓電傳感器需要手工制作，既無法保證一致性，又使得其成本很高，很難享受規模效應所帶來的好處，但MEMS振動傳感器是采用的標準半導體工藝，很容易利用規模效應來控制成本，使得其與壓電傳感器相比，有明顯的價格優勢。這樣，才能讓所有的機器說話，因為其成本是可接受的。

 

未來該類傳感器的發展會是小型化，低功耗，低噪聲，大帶寬和高量程。而且在客戶端會有越來越多的無 線解決方案來替代傳統的有線方案。

 

圖1：趙延輝 ADI亞太區微機電產品市場與應用經理