圖1：系統硬件組成框圖

MEMS傾角傳感器接口

MEMS傾角傳感器采用芬蘭VTI Technologies公司的SCA100T系列中的SCA100T-D01，測量范圍為±30°。SCA100T系列是采用微機電系統(MEMS)技 術制造的一款高分辨率雙軸傾角傳感器。SCA100T-D01數字輸出分辨率為0．035°／LSB，模擬輸 出分辨率為0．002 5°。模擬輸出的分辨率大大高于數字輸出的分辨率，故本設計采用其模擬輸出。模擬輸出將涉及較為復雜的模擬信號處理，如果模擬信號處理不當，系統的分辨率 和精度將大打折扣，有時甚至還不如數字輸出。采用合理的模擬信號處理電路是保證系統精度的方法之一。
SCA100T-D01內置溫度傳感器，可以通過其自帶的SPI數字接口讀取溫度值，并在處理器中進行相應的溫度補償。這是保證系統精度的又一方法。

阻抗匹配及放大

SCA100T-D01輸出阻抗為10 kΩ，為保證MEMS傾角傳感器SCA100T-D01輸出的信號有效地傳遞，即要求衰減最小，設計中采用了具有高輸入阻抗的場效應管型運放TL081設計了阻抗匹配電路，采用同相輸入，以提高輸入阻抗。
信號放大電路采用ICL7653斬波穩零運算放大器來 完成，如圖2所示。ICL7653具有極低的失調電壓和偏置電流，具有較高的工作穩定性和優良的高精度放大功能。ICL7653斬波穩零使用內部時鐘時， 在CA、CB與CR端之間加上0．1 μF的低泄放、高穩定性的聚酯或聚丙烯電容。同時在雙電源接入端進行濾波和去耦處理。

 
圖2：信號放大電路

差分轉換及驅動

如圖3所示，差分轉換電路以AD8138AR為核心，將單端信號轉換差分信號，既可以提高共 模抑制比，有效減小共模信號影響，又可以驅動SOC內部的24位差分Sigma-Delta模／數轉換器。AD8138AR具有較寬的模擬帶寬(320 MHz，-3 dB。增益為1時)，而且AD8138AR為表面封裝器件，器件體積小，使得ADC與信號輸入點的距離可以很近，大大減少了外界噪聲的影響。

 
圖3：差分轉換電路

SOC微控制器資源分配

本設計選用Silicon Labs公司的C8051F350作為處理核心。C8051F350是真正能獨立工作的片上系統(SOC)，它自帶8K字節Flash存儲器，可在系統編 程；集成了1個全差分24位Siva-Delta模／數轉換器(ADC)，該ADC具有在片校準功能，2個獨立的數字抽取濾波器可被編程到1 kHz的采樣率；具有2路UART和1路SPI接口。與其他類型的微控制器實現相同功能需要多個芯片的組合才能完成相比，C8051F350不僅減少了系 統成本和系統體積，而且大大提高了系統的可靠性。

設計中采用C8051F350的24位Sigma-Delta模／數轉換器作系統信號的模數轉換，SPI接口作MEMS傾角傳感器的溫度采集，以實現對傳感器的溫度補償，UART作串行LED顯示接口。為保證模／數轉換器工作穩定，采用外部基準源。

ADC基準源及傳感器電源

MEMS傾角傳感器SCA100T在傾角為0°時，模擬輸出為其電源電壓的1／2倍，如果傾角傳感器電源電壓有波動，則其輸出會產生相應的波 動。因此設計時，將給模數轉換電路提供基準源的輸出(如圖4所示)，經過提高驅動能力后，提供給MEMS傾角傳感器SCA100T作電源(如圖5所示)。 一方面，基準源輸出紋波極小，且性能穩定；另一方面，模數轉換器的基準源和MEMS傾角傳感器SCA100T的電源同時向相同方向變化，抵消了MEMS傾 角傳感器因電源引起零點漂移的影響。

 
圖4：基準源電路

 
圖5：SCA100T電源電路

圖4中的基準源LM236輸出的2．5 V電壓經過軌對軌運放OPA340組成的跟隨電路處理后，增大了驅動能力，既作為模數轉換電路的基準源，同時還為差分轉換電路提供中心電壓，以及MEMS傾角傳感器SCA100T的電源輸入。

圖5中的輸入為圖4中的參考電壓(VREF)輸出。以低漂移、高穩定性運放OPA340組成的運放電路給傾角傳感器SCA100T提供電源，能保證電源紋波小，工作穩定。

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信號的數學處理

ADC精度控制

C8051F350內部有具有2個獨立的抽取濾波器(SINC3濾波器和快速濾波器)和1個可編程增益放大器。根據參考文獻SINC3濾波器RMS噪聲小，精度高，缺點是輸出速率較低，而快速濾波器則相反。本設計對速率要求低，而對精度要求高，因此選用SINC3濾波器。SINC3濾波器典型RMS噪聲如表1所示。

從表1可知，較高的抽取比需要較長的轉換周期，即輸出字速率較低，但具有較低噪聲。

根據參考文獻，采用SINC3濾波器時，該模／數轉換器的實際分辨率為：
 
根據實際分辨率的公式(1)可知，當抽取比為1 920，輸出字速率為10 Hz時，根據實際分辨率的公式(1)可得到實際分辨率約為20．00位。

SCA100T傳感器的 靈敏度為70mV／(°)，分辨率為0.0025°，ADC參考電壓VREF為2.5V，則需要能檢測的最小信號為0.0025°x70mV／°= 0.175 mV，根據0．175 mV／2．5 V="1"／14 286可知，ADC的位數至少應為14位，即214=16 384>14 286，根據減額設計要求，取20位，所以本設計完全滿足設計要求。

溫度補償

根據參考文獻，SCA100T-D01的溫度誤差曲線如圖6所示。

 
圖6：SCA100T溫度誤差補償曲線

通過曲線擬合，其曲線方程為：

 

在信號通過模數轉換器采集后，轉換為角度輸出時，根據實時采集的傾角傳感器SCA100T處的溫度值，就可以根據溫度補償曲線補償相應的角度值，將溫度對傾角測量的影響降到最低。

曲線擬合

由于SCA100T系列傳感器輸出與傾斜角度存在非線性關系(非線性誤差在測量范圍內為0.11°)，這樣不利于分析處理測量結果。因此必須采取相應的線性化措施，以補償傳感器引入的非線性。傳統方法中多數采用硬件方法，實現方法比較復雜，且穩定性和可靠性難以控制。

由于SCA100T系列傳感器的非線性特性是已知的，則可以利用相應的校正函數進行補償。由于微處理器具有很強的函數運算與數據處理能力，用編程的方法可以很容易實現所需的校正函數。本設計采用SOC通過軟件編程的方法修正非線性。

在設計時，將SCA100T-D01傳感器的測量范圍進行進一步細分，如將傾角為3°的這段曲線劃分為2．5°～3．5°，并將擬合曲線修改為下式：

 

式中，XIN為模數轉換器輸出值經內部SINC3濾波器濾波后得到的采樣值，TER為SCA100T傳感器的實時溫度補償值，PI為圓周率。

上式既修正了傳感器輸出的非線性，又修正了溫度對傳感器的影響。

實測數據

該傾角測量系統在MC019-JJ2數字式2"光學分度頭標準儀器上進行了分度和性能測試。MC019-JJ2數字式2"光學分度頭是一種對裝夾在其主軸上的工件進行角度分度或進行角度檢驗的精密光學計量儀器，其顯示當量為1"。測試數據如表2所示。

從表2的測試數據可知，每個測試點的偏差有正有負，其主要原因在于這些測試點的曲線擬合是獨立的，互不影響。另外，在30°時絕對誤差最大，最大的絕對誤差為0．0044°，在1°時相對誤差最大，為0．001 8／1≈0．018％。

結束語

本文采用MEMS傾角傳感器SCA100T的模擬接 口為輸出，采用其數字接口實現溫度補償，同時采用基準源和運放驅動作為傳感器的電源，提高了傳感器輸出的精度和穩定性；信號處理時，采用低漂移運放處理電 路和差分模數轉換電路，有效提高了信號的信噪比和共模抑制比；采用正弦曲線擬合，有效改善了信號輸出的線性度。經過以上多方面信號處理和優化，在測量范圍 內系統最大絕對誤差為0．004 4°。并且系統集成度較高，體積小，成本低，可以滿足地質石油勘探、設備安裝、道路橋梁建設等工程應用以及機器人控制、坦克和艦船火炮平臺控制、飛機姿態 控制等系統的自動水平調節應用。