電子產品設計中的“明星”——MEMS傳感器 

雖然MEMS(微電子機械系統)技術被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷帶活了MEMS市場的應用。可以毫不夸張的說：“這是一場聲勢浩大的市場拉動MEMS應用的革命”。MEMS當之無愧成為電子產品設計中的“明星”。本次半月談將帶給您有關MEMS傳感器的應用，MEMS傳感器的設計，商機及趨勢等內容。期待您的關注。

無論Nokia N95/N96、黑莓手機、三星的Omnia還是宏達的Diamond——當然還有蘋果的iPhone，在如今幾乎所有熱銷的智能手機中，MEMS技術都扮演著非常重要的角色。MEMS（微機電系統）就是在一個硅基板上集成了機械和電子元器件的微小機構。在代工廠中，通過對電子部分使用半導體工藝和對機械部分使用微機械工藝將其或者直接蝕刻到一片晶圓中，或者增加新的結構層來制作MEMS產品。作為納米科技的一個分支，MEMS被稱為電子產品設計中的“明星”。

應用篇

微機電運動傳感器（MEMS Motion Sensor）技術主要應用于汽車電子領域，但是憑借Wii和iPhone的熱賣，該技術一舉在消費電子市場也闖出了一片天地。MEMS運動傳感器囊括多種傳感器技術。用來測量物體加速度的傳感器叫做加速度傳感器（加速度計）；用來測量物體角速度的傳感器叫做角速度傳感器（陀螺儀）；也有將二者相結合的慣性測量單元（IMU；Inertial Measurement Unit）。另外，還有測量高度變化的氣壓計，以及感測絕對方向的電子羅盤。點擊《微機電運動傳感器應用領域》了解詳情。

設計篇

先前絕大部分的電子產品依靠石英晶體來提供可靠穩定的頻率信號，不過近幾年由于MEMS技術設計制造的電子零件，在許多應用領域不斷提供電子產品創新且質優的設計，其中包括MEMS諧振器零件在許多應用開始取代石英晶體：例如所謂MEMS振蕩器內部所采用的諧振器，即是使用毫米級大小的MEMS諧振器，作為Mega Hertz級別的振蕩源。除了創新諧振器的MEMS技術，振蕩器內部的振蕩電路設計亦開始進行中。MEMS技術設計脫穎而出《MEMS振蕩器技術設計思路》。

商機篇

據德國慕尼黑的一家市場資訊公司Wicht Technologie Consulting (WTC)的分析家們預計，用于航天、國防和國土安全的微機電系統（MEMS）的市場份額將從2005年的1億美元翻番，達到2009年的2.65億美元。WTC的專家們指出，微機電系統（MEMS）技術用于國防的潛在機會包括航空動力、機動性、隱身、傳感、發電和管理、智能結構和材料。更多商機請看《國防和航天MEMS市場2009年將達到2.65億美元》。

趨勢篇

雖然MEMS(微電子機械系統)技術被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷使人們更廣泛地了解慣性傳感器的用途，這些產品使用了基于運動感測技術的用戶界面。盡管如此，在一定程度上業界的觀念仍停留在慣性傳感器主要是用于終端產品檢測加速度和減速度的應用。從純粹的科學角度來看，這種說法完全正確，但這樣的觀點卻忽略了許多MEMS加速計和陀螺儀的擴展應用，包括在醫療設備、工業設備、消費電子產品和汽車電子等領域。《利用MEMS慣性感測技術實現應用變革》將告訴您未來的技術變革是什么？