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    三菱材料開發(fā)出高介電體材料可延長(zhǎng)薄膜電容器壽命

    發(fā)布時(shí)間:2010-11-24 來源:日經(jīng)BP社

    高介電體材料的產(chǎn)品特性:
    • 采用膜紋理控制技術(shù)
    • 應(yīng)用材料為PZT類高介電體Sol-gel液
    高介電體材料的應(yīng)用范圍:
    • 高介電體材料可延長(zhǎng)薄膜電容器壽命

    三菱材料開發(fā)出了可延長(zhǎng)薄膜電容器壽命的高介電體材料。該公司稱,通過改進(jìn)材料成分及膜紋理控制技術(shù),在高溫高壓下的加速壽命試驗(yàn)中實(shí)現(xiàn)了十?dāng)?shù)倍于現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的壽命。

    新開發(fā)的材料為鋯鈦酸鉛(PZT)類高介電體溶膠凝膠(Sol-gel)液。該公司目前在生產(chǎn)并銷售濕式工藝(溶膠凝膠法)薄膜電容器用PZT類高介電體溶膠凝膠液。此次對(duì)現(xiàn)有的這種材料作了改進(jìn)。溶膠凝膠法,是在基板上涂布有機(jī)金屬化合物溶液(溶膠液),使之干燥形成凝膠膜(膠狀固體),并將其燒結(jié),以在基板上獲得金屬氧化物膜的成膜方法。能以低于一般真空工藝(真空蒸鍍法等)的成本制造。
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