<abbr id="kc8ii"><menu id="kc8ii"></menu></abbr>
  • <input id="kc8ii"><tbody id="kc8ii"></tbody></input><table id="kc8ii"><source id="kc8ii"></source></table><kbd id="kc8ii"></kbd>
    <center id="kc8ii"><table id="kc8ii"></table></center>
  • <input id="kc8ii"></input>
    <abbr id="kc8ii"></abbr>
  • <abbr id="kc8ii"></abbr>
  • <center id="kc8ii"><table id="kc8ii"></table></center>
    <abbr id="kc8ii"></abbr>
    你的位置:首頁 > 測試測量 > 正文

    GlobalFoundries投入EUV技術(shù) 4年后量產(chǎn)

    發(fā)布時間:2010-07-22


    公司事件:

    •     全球晶圓(Global Foundries)宣布投入EUV微影技術(shù),將于2014~2015年間正式量產(chǎn)

    事件影響:

    •     EUV是否能成為主流技術(shù),未來1~2年將是重要關(guān)鍵

    繼晶圓代工大廠臺積電宣布跨入深紫外光(EUV)微影技術(shù)后,全球晶圓(Global Foundries)也在美國時間14日于SEMICON West展會中宣布,投入EUV微影技術(shù),預(yù)計(jì)于2012年下半將機(jī)臺導(dǎo)入位于美國紐約的12寸晶圓廠(Fab 8),將于2014~2015年間正式量產(chǎn)。

    由于浸潤式微影(Immersion Lithography)機(jī)臺與雙重曝光(double-patterning)技術(shù),讓微影技術(shù)得以發(fā)展至2x奈米,不過浸潤式微影機(jī)臺采用的是 193nm波長的光源,走到22奈米已達(dá)光學(xué)極限,因此業(yè)界發(fā)展出采用13.5nm波長的EUV光源,僅浸潤式微影光源的14分之1。

    目前包括英特爾(Intel)、臺積電、三星電子(Samsung Electronics)、東芝(Toshiba)等半導(dǎo)體大廠皆已向設(shè)備廠艾斯摩爾(ASML)采購EUV機(jī)臺,投入EUV技術(shù)的研發(fā)。

    Global Foundries資深研發(fā)副總Gregg Bartlett表示,Global Foundries不同于多數(shù)同業(yè)采購預(yù)產(chǎn)(pre-production)設(shè)備,而是直接采購量產(chǎn)型機(jī)臺,預(yù)計(jì)于2012年下半導(dǎo)入位于紐約的12寸廠中,預(yù)計(jì)2014~2015年間進(jìn)入量產(chǎn)。

    Global Foundries于6月初在臺灣宣布擴(kuò)產(chǎn)計(jì)畫,目前興建中的紐約Fab 8原本預(yù)計(jì)2010下半年啟用,未來將增加40%廠房空間,每月產(chǎn)能由4.2萬片增加到6萬片,制程技術(shù)由28奈米延伸至22~20奈米,新產(chǎn)能將在 2012年上線,并于2013年開始量產(chǎn)。

    Gregg Bartlett進(jìn)一步指出,雖然浸潤式微影技術(shù)能夠?qū)⒅瞥掏七M(jìn)到22/20奈米,然而成本高且復(fù)雜度也高,因此需要其它的技術(shù),而EUV就是最好的替代方案。

    他也表示,Global Foundries是EUV LLC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的的初創(chuàng)成員之一,曾參與多項(xiàng)EUV研發(fā)的重要里程碑,其中包括首款EUV測試芯片的生產(chǎn),因此Global Foundries將繼續(xù)維持領(lǐng)先地位,推動整個產(chǎn)業(yè)走向EUV的量產(chǎn)。”

    Global Foundries主要競爭對手之一的臺積電于2010年2月宣布,臺積電將取得ASML的EUV微影設(shè)備,并安裝在竹科12寸廠Fab 12超大晶圓廠(GigaFab)中,用以發(fā)展新世代的制程技術(shù)。

    EUV技術(shù)由于設(shè)備投資金額高昂,加上所需的光罩成本亦相當(dāng)高昂,然而浸潤式雙重曝光(double patterning)復(fù)雜度大增,因此目前在22奈米制程,哪個技術(shù)會是主流尚無定論,而臺積電也同時在發(fā)展無光罩(maskless)的電子束 (E-beam)技術(shù),因此也讓發(fā)展較晚的電子束技術(shù),扭轉(zhuǎn)情勢成為22奈米以下制程的候選技術(shù)之一。

    然而隨ASML的6臺EUV設(shè)備即將陸續(xù)出貨,屆時其量產(chǎn)成果將成為業(yè)界的重要指標(biāo),EUV是否能成為主流技術(shù),未來1~2年將是重要關(guān)鍵。

     

     

    特別推薦
    技術(shù)文章更多>>
    技術(shù)白皮書下載更多>>
    熱門搜索
    ?

    關(guān)閉

    ?

    關(guān)閉

    日韩乱码人妻无码系列中文字幕| 无码人妻精品一区二| 国产成人无码一二三区视频| 精品人妻系列无码一区二区三区| 亚洲成?Ⅴ人在线观看无码| 天堂а√在线中文在线| AV无码一区二区大桥未久| 精品久久久久久中文字幕人妻最新 | 六月婷婷中文字幕| 国产品无码一区二区三区在线| 亚洲av永久无码精品古装片 | 国产乱人无码伦av在线a| 在线综合亚洲中文精品| 少妇无码太爽了不卡在线观看| 亚洲中文字幕无码一区二区三区| 自拍偷在线精品自拍偷无码专区| 激情无码人妻又粗又大中国人| 亚洲精品无码久久久影院相关影片| 无码精品A∨在线观看免费| 色婷婷久久综合中文久久一本| 日韩精品无码一区二区三区免费 | 人妻丰满av无码中文字幕 | 炫硕日本一区二区三区综合区在线中文字幕 | 永久免费AV无码网站国产| 久久亚洲AV成人无码软件| 精品欧洲AV无码一区二区男男| 中文字幕人成乱码在线观看| 国产午夜无码视频在线观看| 麻豆aⅴ精品无码一区二区| 久久精品99无色码中文字幕| 中文字幕在线视频播放| 亚洲AⅤ永久无码精品AA| 少女视频在线观看完整版中文| 中文字幕无码成人免费视频| 日韩精品人妻一区二区中文八零| 中文字幕热久久久久久久| 日韩中文字幕在线视频| 中文字幕在线无码一区二区三区| 中文字幕无码日韩专区免费| 亚洲Av永久无码精品三区在线| 国产热の有码热の无码视频|